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Fan-out 固晶

NUCLEUS 系列

全效高精度取放系统

尺寸 宽 x 深 x 高
1,460 x 2,300 x 2,100 mm

特色

  • 晶圆级扇出工艺及嵌入式封装的先驱
    • 支持覆晶及直接固晶模式，并可执行局部对准及整体对准
  • 特大基板处理能力
  • 支持特大固晶压力及热压固晶工艺
  • 配置全自动工具转换系统，实现多晶固晶工艺
  • 固晶制程符合洁净度 100 级的要求

其他配置

  • NUCLEUS XD: 70mm x 70mm 超大芯片处理能力
  • NUCLEUS XLplus: 600mm x 670mm 超大基板处理能力

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