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ECD | Panel Plating - Stratus™ P500

Der Stratus™ P500 hat sich bei den führenden Plattenherstellern bewährt und liefert präzise Beschichtungen auf Waferebene für Platten bis zu 510 x 515 mm. Dieses Plattenbeschichtungswerkzeug ist ein Wendepunkt in der Halbleiterindustrie, da es höherwertige chemische Eigenschaften auf Waferebene für Plattensubstrate aus Glas und Epoxidharz bietet. Mehr Informationen

Applications
  • Configurable for up to 5 metals
  • Multi-chip Fan Out
  • SoC packages
  • MicroLED
Substrates
  • 510×515 mm panels, custom
  • Glass, Composite, Other
Features
  • Wafer level precision hardware and software
  • Cu, Sn(Ag), Ni & Au plating @<10µm L/S
  • Single/Dual sided plating
  • Membrane cells provide high chemistry utilization
  • Multi-zone anodes for optimized uniformity with thick and thin seeds
  • Patterned shields for uniform high throughput plating

Broschüre

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