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沉積方案 | 電化學沉積 (ECD) 面板

面板電鍍 - Stratus™ P500

ECD 510 x 515 mm 面板加工

應用

  • 可配置多達 5 種不同的電鍍材料
  • 多晶扇出
  • SoC 封裝
  • MicroLED

特點

  • 晶圓級精度硬件和軟件
  • Cu、Sn(Ag)、Ni 和 Au 電鍍 @<10µm L/S
  • 單面 / 雙面電鍍
  • 膜電池提供高化學利用率
  • 多區陽極，優化厚片和薄片的均勻性
  • 帶圖案的屏蔽層可實現均勻的高通量電鍍

材料

  • 510×515 mm 面板，定制
  • 玻璃、複合材料、其他

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