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HERCULES
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Fan-out 固晶
NUCLEUS 系列
全效高精度取放系統
尺寸
寬 x 深 x 高
1,460 x 2,300 x 2,100 mm
特色
晶圓級扇出工藝及嵌入式封裝的先驅
支援覆晶及直接固晶模式,並可執行局部對準及整體對準
特大基板處理能力
支援特大固晶壓力及熱壓固晶工藝
配置全自動工具轉換系統,實現多晶固晶工藝
固晶製程符合潔淨度 100 級的要求
其他配置
NUCLEUS XD: 70mm x 70mm 超大芯片處理能力
NUCLEUS XLplus: 600mm x 670mm 超大基板處理能力
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