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VORTEX II
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AB589
AB589
AB550
NUCLEUS 系列
全效高精度取放系統
特點
晶圓級扇出工藝及嵌入式封裝的先驅
支援覆晶及直接固晶模式,並可執行局部對準及整體對準
特大基板處理能力
支援特大固晶壓力及熱壓固晶工藝
配置全自動工具轉換系統,實現多晶固晶工藝
固晶製程符合潔淨度 100 級的要求
其他配置
NUCLEUS XD: 70mm x 70mm 超大芯片處理能力
NUCLEUS XLplus: 600mm x 670mm 超大基板處理能力
宣傳冊
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