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CoS Die Bonder: 高精度 CoS 固晶機

CoS 是 ASMPT AMICRA 公司開發的一款新型設備,專為解決 Chip on Submount 應用領域的各種挑戰而設計。這台機器可以使用共晶固晶的方法,在分離的基座上進行多晶固晶,定位精度可達 ±1.5 μm @ 3σ。固晶方式可以採用陶瓷脈沖加熱器或是局部非接觸式雷射加熱,週期時間可達 6 秒。

除了上述的固晶方式,CoS 也可以配備適用於錫膏或銀漿的印膠裝置。

機器的核心是配備有兩個固晶夾具的固晶台。一方面,機器使用 ASMPT AMICRA 的動態對位技術從晶片台精準地拾取晶片並貼裝到基座上。另一方面,則可以並行地從基座台載入新的基座和卸載已完成的 CoS 器件,同時還可以進行印膠或預成型件的處理。


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特點

  • 最高 ±1.5 µm* @ 3σ 固晶精度
  • 專用於固晶到晶片 (CoC) / 固晶到基座 (CoS) / 固晶到載具
  • 手動裝卸晶圓和基板
  • 固晶週期 6 - 10 秒 (取決於產品應用)
  • 適用於激光加熱的晶片尺寸為 0.15 x 0.15 mm - 3 x 8 mm 或適用於脈衝加熱的晶片尺寸為 0.15 x 0.15 mm - 8 x 8 mm
  • 基板尺寸為 0.3 x 0.3 mm - 16 x 16 mm
  • 動態元件對位
  • 固晶、覆晶
  • 用於單個基座處理的獨立晶片頂料系統
  • 共晶固晶能力
  • 最高可達 350°C 的加熱焊頭
  • 最高可達 400°C 的陶瓷脈衝加熱器
  • 用於裝卸基座的雙拾取頭
  • 主動固晶壓力控制
  • 固晶壓力 5 - 500 g
  • 固晶後檢查
  • 晶圓圖
  • 用於晶圓、凝膠盒或華夫盒的基座裝卸台

選項

  • 覆晶裝置
  • 印膠裝置
  • 點膠裝置
  • 採用局部雷射加熱裝置的非接觸式基座加熱,溫度最高可達 450°C
  • ... 以及更多!

* 實際表現會因產品而有改變

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