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CM-AQUA

Das CM-AQUA ist ein vollautomatisches DI-Wasser-Reinigungssystem für CMOS-Bildsensoren. Sein Hochgeschwindigkeitssystem ist mit einer unter Druck stehenden DI-Wasser-Reinigung und einem Zentrifugal-Trocknungssystem ausgestattet, um Fremdpartikel zu entfernen, die größer als 1 µm auf den Substraten sind. Das CM-AQUA ist komplett mit Inline-Fähigkeiten.

CMOS Image Sensor

Funktionen

  • Hocheffiziente DI-Wasser-Reinigung
    • Effizientes Reinigungsdesign
    • Reinigungsfähigkeit bis zu einer Partikelgröße von 1 µm
    • Behandeln Sie bis zu 8 Substrate gleichzeitig
  • Hochgeschwindigkeits-Zentrifugal-Trocknung
    • Schleudern mit hoher Geschwindigkeit mit max. 1.200 rpm
  • Ultra saubere innere Umgebung erreicht
  • Automatische Operation
  • Inline-Fähigkeit

Broschüre

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