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CM-AQUA

CM-AQUA 是用於 CMOS 圖像傳感器的全自動去離子水清洗系統。其高速系統配備加壓去離子水清洗和離心乾燥系統,可去除基板上大於 1µm 的異物。CM-AQUA 可與其他 CIS 系統聯機。

CMOS影像感應器

特點

  • 高效去離子清潔
    • 高效的清潔設計
    • 可清潔小至 1 μm 的顆粒
    • 可一次處理多達 8 個基板
  • 高速離心乾燥
    • 以最高 1,200 rpm 的轉速高速旋轉
  • 超潔淨內部環境
  • 全自動操作
  • 可連線功能

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