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LT300Pro

LT300Pro 自動激光轉移系統,具有卓越的精度和超過 500,000 UPH 的轉移速率。其靈活性允許輕鬆轉換以適應不同的晶片尺寸和像素間距。本系統支援全體巨量轉移、選擇性巨量轉移或填補模式,最大限度地提高轉移產量。 透過無毒氣激光工藝和轉移前 / 後檢查確保安全。 LT300Pro 徹底改變了轉移固晶,提供高精度、速度、適應性和環保意識。升級至 LT300Pro,體驗轉移技術的未來。

特點

  • 高精度轉移配置
    • XY 位置精準度: ± 3.5 µm @ 3σ
  • 巨量轉移技術
    • > 500,000 UPH
  • 靈活的激光轉移
    • 輕易轉換任何晶片尺寸和像素間距
    • 支持多種激光轉移工藝技術
      • 全體巨量轉移模式
      • 選擇性巨量轉移模式
      • 填補模式
  • 最大化巨量轉移產量
    • 轉移前,快速檢測晶圓
    • 轉移後,檢查及填補過程
  • 無毒氣激光工藝

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