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FIREBIRD 系列

全自動熱壓式固晶系統

特點

  • 靈活的物料處理能力，專門處理異質整合 2D、2.5D 及 3D
    • 並存晶圓及卷帶送料
    • 可處理框條式基板 / 單一式基板 / 晶圓
    • 特寬載具處理，適用于單一式基板
    • 選配 SlimFEM 系統直接處理晶圓及玻璃基板
  • 可靠的安裝基礎
    • > 250 台已在客戶廠房進行量產
  • 創新工藝處理
    • 惰性環境, 實現獨有的 LPC 制程及高產能
    • 即時主動尖端位置傾斜控制

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