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NANO - Die Bonder and Flip Chip Bonder

ASMPT AMICRAs Die Bonding Technologie wurde speziell entwickelt, um den photonischen Montagemarkt zu bedienen, indem sie die ultimative Platzierungsgenauigkeit bietet und gleichzeitig einen eutektischen Hochgeschwindigkeits-AuSn-Bonding-Prozess unterstützt. ASMPT AMICRA hat diese Technologie seit mehr als 20 Jahren perfektioniert, hochauflösende Bildgebungssysteme entwickelt, um das dynamische Ausrichtungssystem zu unterstützen, einen Fiberlaser implementiert, der als primäre Wärmequelle für das eutektische AuSn-Bonden verwendet wird, hochauflösende Bewegungssteuerungssysteme, die mit einem speziellen Vibrationsdämpfungssystem auf einer Granitstruktur montiert sind. Das Konstruktionsdesign dieses sichtgesteuerten Die Bonders besteht darin, alle 4x-Bildgebungssysteme in festen Positionen auf Granit zu montieren, während sich alle anderen Bewegungssteuerungssysteme um die Bildkameras bewegen. Dieses grundlegende Konstruktionskonzept produziert den Die Bonder mit der höchst präzisesten Platzierungsgenauigkeit, den es heute in der Branche gibt.


Für Fragen den NANO Die Bonder betreffend kontaktieren Sie bitte unser weltweites Supportteam.

Merkmale

  • Unterstützt ± 0.2 µm* @ 3σ Platzierungsgenauigkeit
  • Unterstützt alle Die Attach und Flip Chip Applikationen
  • Hochpräzise Ausrichtungsoptik
  • Vibrationsdämpfungssystem
  • Automatisches Platzierungs-Offset-Tuning-System
  • Hochauflösende 300mm-Bonding-Station
  • Dynamisches Ausrichtungssystem
  • Quantitative Parallelitätskalibrierung
  • Möglichkeit des In-situ Eutectic Bonding
  • 3 verschiedene beheizbare Optionen inkl. Laserlötsystem
  • Epoxy Stamping und Dispensing Fähigkeit
  • UV-Härtungsmöglichkeit an der Bond Station
  • Post-bond Inspektion und Wafer-Mapping-Software
  • Reinraum im Inneren mit HEPA-Filter und Ionisator
  • Modulares Maschinenkonzept

* All performance is package and material dependent

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